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溫度控制器Chiller 半導(dǎo)體低溫冰水機(jī)

簡(jiǎn)要描述:【無(wú)錫冠亞】半導(dǎo)體控溫解決方案主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備,?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域。溫度控制器Chiller 半導(dǎo)體低溫冰水機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):LTS-202
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-01-16
  • 訪  問(wèn)  量:824
詳情介紹
品牌冠亞制冷冷卻方式水冷式
價(jià)格區(qū)間10萬(wàn)-50萬(wàn)產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥,汽車



無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備,

?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域。




【 冠亞制冷 】半導(dǎo)體行業(yè)主營(yíng)控溫產(chǎn)品:

半導(dǎo)體專溫控設(shè)備

射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風(fēng)控溫裝置

半導(dǎo)體?低溫測(cè)試設(shè)備

電?設(shè)備?溫低溫恒溫測(cè)試?yán)錈嵩?/span>

射流式高低溫沖擊測(cè)試機(jī)

快速溫變控溫卡盤

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案


型號(hào)FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
溫度范圍5℃~40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴(kuò)展通過(guò)增加電加熱器,擴(kuò)展-25℃~80℃





溫度控制器Chiller 半導(dǎo)體低溫冰水機(jī)

溫度控制器Chiller 半導(dǎo)體低溫冰水機(jī)


  隨著科技的發(fā)展,集成電路行業(yè)這個(gè)領(lǐng)域,準(zhǔn)確的溫度控制對(duì)于確保芯片的性能和可靠性有一定作用。為了滿足這一需求,集成電路行業(yè)廣泛使用了一種設(shè)備——光阻回刻刻蝕雙通道chiller。

  一、什么是光阻回刻刻蝕雙通道chiller?

  光阻回刻刻蝕雙通道chiller是一種專門用于冷卻的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于各種需要準(zhǔn)確溫度控制的領(lǐng)域。在集成電路行業(yè),光阻回刻刻蝕雙通道chiller的主要作用是提供穩(wěn)定的冷卻水,以維持芯片制造過(guò)程中的溫度恒定。

  二、光阻回刻刻蝕雙通道chiller的特點(diǎn)

  1、高精度:集成電路行業(yè)用光阻回刻刻蝕雙通道chiller具有高精度的溫度控制能力,能夠確保芯片制造過(guò)程中的溫度波動(dòng)變小。

  2、高可靠性:由于集成電路對(duì)溫度變化非常敏感,因此光阻回刻刻蝕雙通道chiller需要具有高的可靠性,以確保生產(chǎn)過(guò)程中的穩(wěn)定運(yùn)行。

  3、易于維護(hù):為了滿足生產(chǎn)線的連續(xù)運(yùn)行需求,光阻回刻刻蝕雙通道chiller應(yīng)具備易于維護(hù)的特點(diǎn),方便操作人員快速解決問(wèn)題。



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