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半導體元件測試裝置設計

 更新時間:2019-03-11 點擊量:1054

  半導體元件測試裝置是應用于半導體以及元器件行業(yè)中進行高低溫測試運行的設備,無錫冠亞半導體元件測試裝置利用其在制冷加熱動態(tài)控溫系統(tǒng)領域的優(yōu)勢,生產(chǎn)了半導體元件測試裝置,在行業(yè)需求比較大。

  半導體元件測試裝置系統(tǒng)進行低溫檢測時,真空低溫室上的光學窗口是保持室內(nèi)真空密封所必需的。但是,用于干涉測量的光線要通過窗口,光學窗口對系統(tǒng)干涉檢測的影響必須加以仔細考慮。光學窗口一般采用穩(wěn)定性好的防爆玻璃制成的平行平板,對它的材料的光學性能、兩個表面的平面度和平行性都有嚴格要求。平行平板處于檢測的光路中。如果檢測光路是會聚光束,平行平板必然要帶來像差(即球差),產(chǎn)生檢測誤差。通過計算發(fā)現(xiàn),光學窗口帶來的光程差可以用干涉儀的離焦來補償。在實際操作中,可以選擇適當?shù)碾x焦,使得總的測量誤差較小,光學窗口的影響可以忽略。

  當?shù)蜏厥覂?nèi)部被抽成真空時,窗口兩側存在一個大氣壓的氣壓差,相當于窗口面積上有280牛頓的壓力。原則上講,這樣大的作用力會在窗口內(nèi)部形成應力,從而引起折射率變化,引入附加的波差。計算表明,窗口內(nèi)部受大氣壓產(chǎn)生的應力在外圈大,中間小,中心點上為零。如果采用大孔徑平行光束通過窗口的檢測方案,氣壓的影響將非常嚴重;如果檢測光路是以會聚的形式通過窗口中心一小塊區(qū)域,那么氣壓對窗口的光程差貢獻將非常小。

  半導體元件測試裝置可以對樣品做高溫測量,升高調(diào)壓器電壓,使輻射式加熱器對樣品進行加熱,提高樣品溫度,測量樣品高溫下的導電率、發(fā)光強度等數(shù)據(jù),繪出隨溫度升高這些物理量的變化曲線。

  半導體元件測試裝置可應用于材料科學的各領域,可對各種材料、器件等進行低溫下的導電性能、發(fā)光性能等測試,尤其可達到的溫度已經(jīng)在一些高溫超導材料的臨界溫度之上,可以對這方面的研究提供一定幫助,大跨度溫度范圍,可以對特殊材料的性質如半導體硅片的導電率,武器、航拍、太空拍攝的光學器件的變形,在高低溫下進行測試。

  無錫冠亞半導體元件測試裝置是針對半導體材料研發(fā)的,適用各個半導體材料領域,各個溫度環(huán)境中進行測試運行。(注:本來部分內(nèi)容來百度學術相關論文,如果侵權,請及時聯(lián)系我們進行刪除,謝謝。)

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